Vacuum
OLED 시스템 · 진공 물류 · 플라즈마 · 연구용 진공 장비
Transfer Module · Load Lock · Vacuum Buffer
BUSINESS
진공·열처리 장비부터 자동화 물류와 핵심 컴포넌트까지 공정에 최적화된
장비를 설계·제작합니다.
OLED 시스템 · 진공 물류 · 플라즈마 · 연구용 진공 장비
Transfer Module · Load Lock · Vacuum BufferOLED 및 2차전지 공정을 위한 정밀 열처리 시스템
Vacuum Oven · IR Thermal · Heating Chamber산업용 자동화 및 컨베어 기반 물류 시스템
Lifter · Conveyor · Stacker Crane고진공 환경을 위한 밸브 및 진공 컴포넌트
Gate Valve · Pendulum Valve반도체 공정과 연구개발에 필요한 웨이퍼·시약 등 다양한 소재와 반도체 부품을 공급합니다.
Wafer (Si, SiC, GaN) · 시약 · PR · Chemical · CMP Pad
메모리 칩 · Logic · Image Sensor · ESC Chuck · 유량계 · 밸브